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日刊工業新聞社
グループ：Book
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価格：￥ 4,935
ポイント：49 pt
発売日：2006-09
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カスタマーレビュー 
300mm時代に適合した旬の本 （2007-03-04）
第5版が300mmウェーハがポツポツ出てきた頃に出版されたので、いささか不満な点があったが、本書は満を持して300mm時代に対応して編集された感がある。少なくとも私の関わっているプロセスに関しては「なぜその処理をするのか?」「その処理をした後ウェーハはどのような影響/変化が起きるのか」の疑問に答える出来になっている。おかげで抱えていた疑問のいくつかが氷解した。また第5版に比べて各項目が充実していることも理解しやすさを増している。各課に1冊は欲しい1書である。
